本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第 1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》的第14部分。GB/T 25915 已经发布了以下部分:
-第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
-第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;
-第3部分:检测方法;
-第4部分:设计、建造、启动;
-第5部分:运行;
-第6部分:词汇;
-第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
-第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
-第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
-第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;.
-第 12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求;
-第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁;
-第14部分:按粒子浓度评估设备适用性;
-第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。
本文件等同采用ISO 14644-14:2016《 洁净室及相关受控环境第 14部分:按粒子浓度评估设备适用性》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位:苏州安泰空气技术有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、中国标准化协会、苏州市计量测试院、中国合格评定国家认可中心、中国建筑科学研究院有限公司、江苏富泰净化科技股份有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子工程设计院有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省洁净技术行业协会、天津大学、上海市室内环境净化行业协会、南京工业大学、北京中邦兴业科技有限公司、广东量化检测技术有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司、江汉大学、中科圣杰(深圳)科技集团有限公司、河南盛川净化工程有限公司。.
本文件主要起草人:周斌郝胤博、孙玉澄、冯昕、刘俊杰、赵伟、吴志坚、夏薇佳、王芳、袁月、昊振一、韩辉、魏佳鸣、吴章勇、胡茂从、阎冬、周建平、董学鑫、张正兵、夏高丰、蔡佳义、钟庚、朱正财、刘永。